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更新時間：2023-09-01 
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光掩模檢查前的中和
晶圓靜電消除（防止電路損壞）
玻璃表面有機物去除（干洗）
涂裝前表面改性（提高附著力）
鍍前表面改性（精細鍍層滲透）
電子基板的預貼合處理（提高附著力）
什么是準分子燈？
準分子燈是一種可以照射真空紫外光的光源，其發光原理和結構與傳統的放電燈（汞燈、氙燈等）不同。
準分子燈產生波長為172 nm的真空紫外光（VUV），其光子能量比傳統光清潔和改性中使用的汞燈（波長為185 nm和254 nm）更高。
它可以立即打開和關閉，不需要空轉。
扁平型
| 半導體 | QEF-300SPC | QEF-230SPC | QEF-160 | QEF-100 | QEF-35ST | QEF-35ST-V126 |
| 波長 | 172納米 | 126納米 | ||||
| 公用事業 | 氮氣/冷卻水/AC100-240V | |||||
| 分配 | ±5% | ±7% | ||||
| 照射孔徑 | φ332mm | 218×218毫米 | 167×167毫米 | φ100mm | φ35mm | φ35mm |
| 兼容的工作尺寸 | 12英寸 | 8英寸 | 6寸 | 4英寸 | – | – |
| 照度（最大窗口表面） | 80毫瓦/平方厘米 | 80毫瓦/平方厘米 | 30毫瓦/平方厘米 | 30毫瓦/平方厘米 | 5毫瓦/平方厘米 | 5毫瓦/平方厘米 |
| 平面顯示器 | QEF-1600 | QEF-600 | QEF-320 |
| 波長 | 172納米 | ||
| 公用事業 | 氮氣/冷卻水/AC100-240V | ||
| 分配 | ±10% | ||
| 照射孔徑 | 70×1570毫米 | 70×620毫米 | 70×312毫米 |
| 兼容的工作尺寸 | G6 | G3 | – |
| 照度（最大管面） | 180毫瓦/平方厘米 | 180毫瓦/平方厘米 | 100毫瓦/平方厘米 |
管型
| 半導體 | QEV-360 | QEV-230 | QEV-160 |
| 波長 | 172納米 | ||
| 公用事業 | 氮氣/冷卻水/AC100-240V | ||
| 分配 | ±15% | ||
| 照射孔徑 | 340×340毫米 | 216×216毫米 | 176×176毫米 |
| 兼容的工作尺寸 | 12英寸 | 8英寸 | 6寸 |
| 照度（最大窗口表面） | 15毫瓦/平方厘米 | ||
| 平面顯示器 | QEV-1200 | QEV-850 | QEV-750 | QEV-150 |
| 波長 | 172納米 | |||
| 公用事業 | 氮氣/冷卻水/AC100-240V | 氮氣/AC100~240V | ||
| 分配 | ±15% | |||
| 照射孔徑 | 25×1200毫米 | 25×850毫米 | 25×750毫米 | 25×172毫米 |
| 兼容的工作尺寸 | 寬度1200mm | 寬度850毫米 | 寬度750毫米 | 寬度150毫米 |
| 照度（最大管面） | 50毫瓦/平方厘米 | |||
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