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更新時間：2023-11-18 
瀏覽次數：489用于 EtherCAT 通信的高性能質量流量控制器。
適用于半導體工藝的高性能質量流量控制器 EtherCAT 通信版本。它符合 SEMI 標準，可以使用 EtherCAT 通信進行控制，該通信用于加速半導體制造設備的傳輸系統。
標準配備了半導體制造工藝所需的金屬密封件和琳得科的環境溫度補償流量傳感器，還可以添加與液化氣體兼容等選項。
精度±1%SP
金屬密封
清潔（保證顆粒）
環境溫度保證傳感器
EtherCAT通訊
微流FS
兼容液化氣
大范圍
越來越多的半導體制造設備配備了 EtherCAT 通信（數字 I/F），用于高速控制機械臂等運輸系統。EtherCAT通信有65,536個節點，所有MFC測量系統和運動系統元件都可以集成到EtherCAT通信中。
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