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日本LINTEC汽化器型號及介紹

更新時間:2025-08-02      瀏覽次數:59

日本LINTEC(琳得科)汽化器 的典型型號及技術介紹,適用于半導體、電子封裝等領域的精密涂布工藝:


1. 核心型號及特點

(1) 標準型汽化器

型號:VEC-2000

  • 用途:液態材料(光刻膠、溶劑)的汽化沉積

  • 技術參數

    • 汽化溫度范圍:50~300℃(±0.5℃控溫)

    • 最大流量:2000cc/min

    • 適用材料粘度:1-1000cP

  • 優勢
    ? 均勻汽化,膜厚偏差<±3%
    ? 模塊化設計,支持快速換料

(2) 高精度型

型號:VEC-3000P

  • 用途:半導體晶圓級封裝(如PI膠、SiO?前驅體)

  • 技術參數

    • 汽化精度:±0.1mg/min

    • 支持惰性氣體保護(N?/Ar)

    • 集成式過濾器(防顆粒污染)

  • 優勢
    ? 適用于高純度工藝(Class 100潔凈環境)
    ? 符合SEMI標準


2. 行業應用

領域應用案例適配型號
半導體封裝晶圓凸點封裝(Underfill)VEC-3000P
顯示面板OLED薄膜封裝VEC-2000
光伏太陽能電池鈍化層沉積VEC-2000

3. 技術優勢

  • 無氣泡汽化:專的利渦流加熱技術,避免材料分解

  • 智能控制:觸摸屏設定參數,自動記錄工藝數據

  • 安全設計:過溫/過壓保護,通過CE/JIS認證


4. 選型建議

  • 基礎工藝:VEC-2000(性價比高)

  • 高純環境:VEC-3000P(超低顆粒釋放)

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